Die Waferinspektion ist eine hochpräzise und zeitsensible Tätigkeit. Der erstklassige Formfaktor und die gleichmäßige und präzise Bewegung des Motors der Omni-Baureihe halfen einem Kunden, die gewünschten Anforderungen an die Waferinspektionswerkzeuge zu erfüllen, und resultierten schließlich in einem Gerät, das in der Lage ist, extreme Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu erreichen.
Die Herausforderung
Die Notwendigkeit, die Ausbeute bestehender Halbleiterherstellungsprozesse kontinuierlich zu verbessern und die Markteinführungszeit für neue und zunehmend komplexere Prozesse und Designs zu verkürzen, erfordert, dass Wafer und Prozesswerkzeuge mit modernsten Geräten und Messsystemen geprüft werden. Um die Wafer während der Inspektion zu bewegen, werden häufig Präzisions-Drehtische verwendet. Für die Mess- und Prüftechnik sind eine geringe Bauhöhe und eine große Öffnung erforderlich, um den Durchsatz und die Effizienz des Wafer-Prüfprozesses zu maximieren. Viele handelsübliche Drehtische erfüllen nicht alle Anwendungsanforderungen und erreichen gleichzeitig die erforderliche Genauigkeit und Wiederholbarkeit.
Die Lösung
Die Direktantriebsmotoren der Omni-Baureihe von Celera Motion mit einer Achshöhe von nur 8 mm und Öffnungen über 400 mm bieten einen erstklassigen Formfaktor mit der von einem Direktantriebsmotor erwarteten gleichmäßigen und präzisen Bewegung. Drehtische, die mit Motoren der Omni-Baureihe entwickelt wurden, können extrem niedrige Profile erreichen und bieten eine große Öffnung für Mess-, Scan- und Inspektionsgeräte.
Der Vorteil
Die Motoren der Omni-Baureihe von Celera Motion wurden in zahlreichen Low-Profile-Drehtischen eingesetzt und ermöglichten es den Wafer-Inspektionssystemen, die gewünschte Ausbeute und den gewünschten Durchsatz zu erreichen. Celera Motion bietet auch komplett montierte und getestete Drehtische und Mechatronikpakete an, die von einem fachkundigen Ingenieurteam mit langjähriger Erfahrung entwickelt wurden. Während des Projekts arbeiten die Ingenieure von Celera eng mit dem Kunden zusammen, um eine hochoptimierte Lösung zu entwickeln. In der Serienproduktion liefert Celera Motorkomponenten, Drehgeberkomponenten und komplett montierte und geprüfte Drehtische.
Technische Daten
| Dauerdrehmoment | Up bis 5.9Nm |
| Spitzenmoment | Up bis 17.7Nm |
| Durchmesser (Stator-AD) | 45 bis 165mm |
| Durchgangsloch (Rotor-ID) | 32 bis 120mm |
| Maximale Geschwindigkeit | Bis zu 5.000 U/min |
