Ein Hersteller von Inspektions- und Messtechnik suchte nach einem Wettbewerbsvorteil bei seiner Anwendung zur Echtzeit-Datenrückmeldung. Celera Motion konnte genau diesen Vorteil anbieten, indem sie das Motorset der Agility™-Baureihe einsetzte, um eine gleichmäßigere und genauere Bewegung für die Messungen zu ermöglichen.
Die Herausforderung
Prozesssteuerung und Ertragsmanagement sind von größter Bedeutung bei der Herstellung von integrierten Schaltungen, Wafern, Retikeln und LEDs. Hersteller von Prüf- und Messgeräten können Wettbewerbsvorteile erzielen, indem sie die Funktion ihrer Geräte verbessern, qualitativ hochwertige Echtzeitdaten schnell in den Fertigungsprozess zurückzuliefern, um Fehler so früh wie möglich im Fertigungsprozess zu erkennen und zu beseitigen. Eine extrem gleichmäßige Rotation von Wafern, Vorrichtungen und Retikeln ist unerlässlich auf einem Tisch mit großer Öffnung, die optischen und Scansystemen einen klaren Pfad für Inspektion und Scannen vorgibt.
Die Lösung
Die Motorsets der Agility-Baureihe von Celera Motion bieten rastfreie und gleichmäßige Bewegungen, die branchenführend sind, und sind in Formfaktoren mit Durchgangsbohrungen von 265 mm und größer sowie Außendurchmessern von 19 mm bis über 292 mm erhältlich. Die gleichmäßig und präzise laufenden nutenlosen Motoren der Agility-Baureihe wurden in viele verschiedene Drehtische integriert, um die Herausforderungen einer Mehrfachprüfung von Halbleitern und der Messtechnik für Gerätehersteller auf der ganzen Welt zu lösen.
Der Vorteil
Die nutenlose Motortechnologie ZeroCog™ von Celera Motion eliminiert das Rastmoment. Die daraus resultierende gleichmäßige und präzise Bewegung ermöglicht eine Erfassung von Bild- und Scandaten höchster Qualität. Die großen Öffnungen, die in der Agility-Baureihe verfügbar sind, ermöglichen optischen Inspektions- und Scansystemen den Zugang zu großen Bereichen der Inspektionsfläche. Außerdem können die Geräte durch schnelle Einschwingzeiten dank Direktantriebsstufen schnell große Datenmengen erfassen.
Technische Daten
| Große Öffnung (Rotor-ID) | Von 14,5 mm bis über 265,7 mm |
| Radialer Querschnitt des Stators | Branchenführend, < 15 % |
| Durchmesser (Stator-AD) | 19 mm bis über 292 mm |
| Dauerdrehmoment | 0,05 Nm bis über 13,5 Nm |
| Spitzenmoment | 0,15 Nm bis über 40,7 Nm |
| Rastmoment | Null |
