Rasterelektronenmikroskope

Die Herausforderung

Rasterelektronenmikroskope (REM) und Transmissionselektronenmikroskope (TEM) benötigen hochpräzise Linear- und Drehachsen, die sowohl außerhalb als auch innerhalb von Hochvakuumumgebungen arbeiten. Im Idealfall kann ein einzelner Drehgebertyp im gesamten System verwendet werden, um die Integration für den Hersteller zu vereinfachen.

Die Lösung

Die patentierte optische Technologie PurePrecision der Drehgeber der MicroE Mercury-Baureihe führt zu den kompaktesten Sensoren ihrer Leistungsklasse und ist so konzipiert, dass dieselben Sensoren entweder mit linearen oder rotierenden Glasgittern (Skalen) kombiniert werden können. Mehrere MicroE-Drehgeber sind sowohl in atmosphärischer als auch in Hochvakuum-Ausführung erhältlich, die belüftet und mit vakuumkompatiblen Materialien mit einer Vakuumleistung von 10-8 Torr ausgestattet sind.

In diesem Fall wurden die M2000 und die vakuumtauglichen gleichwertigen M2000V-Sensoren aufgrund ihrer geringen Größe, ihrer hohen Auflösung und ihres digitalen Signalausgangs ausgewählt.

Der Vorteil

Die kompakte Bauweise führt zu einer deutlichen Reduzierung von Größe und Gewicht jeder Achse, während die geringe Leistungsaufnahme der M2000V-Ausführung die thermische Eignung im Vakuum unterstützt. Drehgeber des M2000/M2000V-Sets sind kleiner, leistungsfähiger, schneller zu installieren und einfacher einzurichten und auszurichten als alle anderen Drehgeber. Der winzige Sensor passt in sehr enge Räume und arbeitet sowohl in linearen als auch in rotierenden Anwendungen. Der M2000V-Sensor ist belüftet, aus vakuumtauglichen Materialien gefertigt und für ein 48-stündiges Ausheizen bei 150 °C ausgelegt. Farblich gekennzeichnete blanke Leitungen sind für den Kundenanschluss an der Vakuumkammerdurchführung vorgesehen.

Technische Daten