El bajo consumo de energía de los codificadores MicroE ayuda a la estabilidad térmica en el vacío, con diseños de sensores compactos que se adaptan a espacios muy reducidos y funcionan con rejillas (escalas) lineales y rotativas. Las versiones de vacío tienen ventilación y están clasificadas para 10-8 Torr.
El reto
Los microscopios electrónicos de barrido (SEM) y los microscopios electrónicos de transmisión (TEM) necesitan ejes lineales y rotativos de alta precisión que operen tanto en entornos de alto vacío dentro como fuera. Idealmente, se podría usar un solo tipo de codificador en todo el sistema para simplificar la integración para el fabricante.
La solución
La tecnología óptica PurePrecision patentada de los codificadores MicroE Mercury da como resultado los sensores más compactos en su clase de rendimiento, y están diseñados para que los mismos sensores puedan combinarse con rejillas (escalas) de vidrio lineales o rotativas. Varios codificadores MicroE están disponibles tanto en versiones atmosféricas como en versiones de alto vacío ventiladas y construidas con materiales compatibles con vacío diseñados con una clasificación de vacío de 10-8 Torr. En este caso, se eligieron los sensores M2000 y M2000V equivalentes con clasificación de vacío por su pequeño tamaño, alta resolución y salida de señal digital.
El beneficio
El diseño compacto da como resultado una reducción significativa en tamaño y masa de cada eje, mientras que el bajo consumo de energía del diseño M2000V ayuda a la idoneidad térmica en el vacío. Los codificadores del kit M2000 / M2000V son más pequeños, de mayor rendimiento, más rápidos de instalar y más fáciles de configurar y alinear que cualquier otro codificador. El pequeño sensor se adapta a espacios muy reducidos y funciona tanto en aplicaciones lineales como rotativas. El sensor M2000V tiene ventilación, está construido con materiales compatibles con vacío y está diseñado para una cocción de 48 horas a 150 ° C. Se proporcionan cables desnudos codificados por color para la terminación del cliente en la alimentación de la cámara de vacío.
Especificaciones
| Dimensiones del sensor | 20.6 x 12.7 x 8.4 mm |
| Interfaz | Digital A-quad-B con índice |
| Periodo de rejilla | 20µm |
| Resolución del sistema | 5µm to 78nm |
| Velocidad máxima | 7.2 m/sec |
| Peso del sensor | 2.7g |
| Viaje requerido | Varios lineales y rotativos |
| Disipación de potencia en la cabeza | 100mW típico |
