Un fabricante de tecnología de inspección y metrología estaba buscando una ventaja competitiva en su aplicación de retroalimentación de datos en tiempo real. Celera Motion proporcionó esta ventaja al usar el kit de motor de la serie Agility ™ para proporcionar un movimiento más suave y preciso para sus mediciones.
El reto
El control de procesos y la gestión del rendimiento son de suma importancia en la fabricación de circuitos integrados, obleas, retículas y LED. Los fabricantes de equipos de inspección y metrología pueden lograr ventajas competitivas al mejorar las capacidades de sus equipos para alimentar rápidamente datos de alta calidad y en tiempo real en el proceso de fabricación para detectar y eliminar defectos lo antes posible en el proceso de fabricación. La rotación extremadamente suave de obleas, dispositivos y retículas en un escenario con una gran apertura que proporciona a los sistemas ópticos y de escaneo un camino despejado para la inspección y el escaneo es esencial.
La solución
Los kits de motor de la serie Agility de Celera Motion ofrecen un movimiento suave sin engranaje líder en la industria y están disponibles en factores de forma con orificios pasantes de 265 mm y diámetros exteriores más grandes de 19 mm a más de 292 mm. Los motores sin ranura suaves y precisos de la serie Agility se han integrado en muchas etapas giratorias diferentes para resolver múltiples desafíos de inspección de semiconductores y aplicaciones de metrología para fabricantes de equipos de todo el mundo.
El beneficio
La tecnología de motor sin ranura ZeroCog ™ de Celera Motion elimina el par de engranaje. El movimiento suave y preciso resultante permite recopilar la imagen y los datos de escaneo de mayor calidad. Las grandes aberturas disponibles en la serie Agility brindan a los sistemas de inspección y escaneo ópticos acceso a áreas sustanciales de la superficie de inspección, junto con los rápidos tiempos de asentamiento posibles desde las etapas de manejo directo, permiten que el equipo recolecte una gran cantidad de datos rápidamente.
Especificaciones
| Apertura grande (ID del rotor) | Desde 14.5 mm hasta más de 265.7 mm |
| Sección transversal radial del estator | Líder en la industria, <15% del diámetro exterior del estator |
| Diámetro (Estator OD) | 19 mm a más de 292 mm |
| Par continuo | 0,05 Nm a más de 13,5 Nm |
| Torque pico | 0,15 Nm a más de 40,7 Nm |
| Torque de Cogging | Cero |
