L’inspection de plaquettes est une activité extrêmement précise et sensible au facteur temps. Le facteur de forme best-in-class et le mouvement fluide et précis du moteur Omni ont aidé un client à répondre aux exigences de son matériel d’inspection de plaquettes, permettant le développement d’un appareil capable d’allier une extrême précision et une excellente reproductibilité.
Le défi à relever
La nécessité d’améliorer continuellement le rendement des processus de fabrication de semi-conducteurs existants et de réduire les délais de mise sur le marché pour les nouveaux processus et conceptions, de plus en plus complexes, nécessite que les plaquettes et les outils de traitement soient surveillés à l’aide d’équipements et de systèmes de mesure de pointe. Les platines rotatives de précision sont couramment utilisées pour déplacer les plaquettes lors de leur inspection. Une faible hauteur totale de la platine et une grande ouverture pour l’équipement de détection et d’inspection sont requises pour optimiser le débit et l’efficacité du processus d’inspection. De nombreuses platines rotatives disponibles dans le commerce ne répondent pas à toutes les exigences de l’application, bien qu’atteignant les niveaux requis en termes de précision et de reproductibilité.
La solution
Les moteurs à entraînement direct Celera Motion de la série Omni, offrant des hauteurs axiales très basses (jusqu’à 8 mm) et des ouvertures supérieures à 400 mm, offrent un facteur de forme inégalé avec le mouvement fluide et précis attendu d’un moteur à entraînement direct. Les platines rotatives conçues avec des moteurs de la série Omni peuvent offrir les profils extrêmement bas et la grande ouverture requis pour les équipements de détection, de balayage et de contrôle.
Avantage
Les moteurs de Celera Motion de la série Omni ont été utilisés dans de nombreuses platines rotatives à profil bas et ont permis aux systèmes d’inspection de plaquettes d’atteindre le rendement et le débit souhaités. Celera Motion fournit également des platines rotatives et des kits mécatroniques entièrement assemblés et testés, conçus par un personnel technique expert et ayant de nombreuses années d’expérience à son actif. Dans le cadre du projet, les ingénieurs de Celera travaillent en étroite collaboration avec le client pour concevoir une solution hautement optimisée. Durant la phase de production en série, les livrables attendus de Celera peuvent inclure des composants de moteur, des composants de codeur ou une platine rotative entièrement assemblée et testée.
Caractéristiques techniques
| Couple continu | Jusqu’à 5,9 Nm |
| Couple maximal | Jusqu’à 17,7 Nm |
| Diamètre (DE stator) | 45 à 165 mm |
| Trou traversant (DI rotor) | 32 à 120 mm |
| Vitesse max. | Jusqu’à 5 000 tr/min |
