La faible consommation électrique des codeurs MicroE contribue à la stabilité thermique dans des conditions de vide, grâce à des capteurs compacts qui s’adaptent à des espaces très réduits et fonctionnent avec des réseaux linéaires et rotatifs (platines). Les versions conçues pour les conditions de vide sont ventilées et homologuées pour 10-8 torrs.
Le défi à relever
Les microscopes électroniques à balayage (MEB) et les microscopes électroniques à transmission (MET) nécessitent des axes linéaires et rotatifs de haute précision qui fonctionnent à la fois à l’intérieur et à l’extérieur des environnements sous vide poussé. Idéalement, un seul type de codeur pourrait être utilisé pour l’ensemble du système de manière à simplifier l’intégration pour le fabricant.
La solution
La technologie optique PurePrecision brevetée des codeurs de la série MicroE Mercury permet d’obtenir les capteurs les plus compacts de leur classe de performance, et est conçue de manière à ce que les mêmes capteurs puissent être couplés avec des réseaux linéaires ou rotatifs en verre (platines). Plusieurs codeurs MicroE sont disponibles, en versions atmosphérique et vide poussé, ventilées et construites avec des matériaux compatibles avec le vide, avec un indice de vide 10-8 torrs. Dans ce cas, les capteurs M2000 et M2000V (version vide poussé) ont été choisis pour leur petite taille, leur haute résolution et leur sortie de signal numérique.
Avantage
La conception compacte permet une réduction significative de la taille et de la masse de chaque axe, tandis que la faible consommation d’énergie de la version M2000V facilite l’adéquation thermique dans des conditions de vide. Les codeurs en kit M2000/M2000V sont plus compacts, plus performants, plus rapides à installer et plus faciles à configurer et aligner que tout autre codeur. Le minuscule capteur s’adapte aux espaces très restreints et fonctionne aussi bien dans les applications linéaires que rotatives. Le capteur M2000V est ventilé, construit avec des matériaux compatibles avec les conditions de vide, et conçu pour un passage au four de 48 heures à 150°C. Des conducteurs nus codés par couleur sont fournis pour la finalisation par le client lors du passage en chambre à vide.
Caractéristiques techniques
| Dimensions du capteur | 20,6 x 12,7 x 8,4 mm |
| Interface | Digital A - quad B avec index |
| Période du réseau | 20µm |
| Résolution du système | 5 µm à 78 nm |
| Vitesse max. | 7,2 m/s |
| Poids du capteur | 2,7 g |
| Déplacement requis | Divers linéaire et rotatif |
| Puissance dissipée au niveau de la tête | 100 mW typique |
