Ispezione di componenti wafer

L’ispezione di componenti wafer è un’attività estremamente precisa e sensibile ai tempi. I motori della serie Omni, grazie al miglior fattore di forma della categoria e ai loro movimenti scorrevoli e accurati, hanno permesso a un cliente di raggiungere i requisiti desiderati per i propri strumenti di ispezione dei wafer, portando alla realizzazione di un dispositivo in grado di offrire estrema precisione e ripetibilità.

La sfida

La necessità di migliorare continuamente il rendimento dei processi di produzione dei semiconduttori esistenti e di ridurre i tempi di immissione sul mercato per processi e progetti nuovi e sempre più complessi, richiede che i componenti wafer e gli strumenti di lavorazione siano monitorati con attrezzature e sistemi di misurazione all’avanguardia. Moduli rotanti di precisione sono comunemente usati per spostare i wafer durante i loro processi di ispezione. Per massimizzare la produttività e l’efficacia del processo di ispezione dei wafer sono necessari una limitata altezza complessiva e un’ampia apertura per le apparecchiature di rilevamento e ispezione. La maggior parte dei moduli rotanti disponibili in commercio non soddisfano tutti i requisiti di tale applicazione, pur raggiungendo i necessari livelli di accuratezza e ripetibilità.

La soluzione

I motori ad azionamento diretto della serie Omni di Celera Motion con altezze assiali fino a 8 mm e aperture superiori a 400 mm offrono il miglior fattore di forma della categoria e il movimento scorrevole e preciso tipico dei motori a trasmissione diretta. I moduli rotanti progettati con i motori della serie Omni offrono profili estremamente bassi e ampie apertura per le apparecchiature di rilevamento, scansione e ispezione.

I vantaggi

I motori della serie Omni di Celera Motion sono utilizzati in numerosi moduli rotanti a basso profilo che consentono ai sistemi di ispezione dei componenti wafer di ottenere il rendimento e la produttività desiderati. Celera Motion offre pacchetti per moduli lineari e soluzioni di meccatronica completamente assemblati e testati, progettati da uno staff di ingegneri con molti anni di esperienza. Durante il progetto, gli ingegneri di Celera lavorano a stretto contatto con il cliente per progettare una soluzione altamente ottimizzata per le sue esigenze. In caso di produzioni in serie, i prodotto finali forniti da Celera possono essere singoli componenti del motore o degli encoder , ma anche moduli rotanti completamente assemblati e testati.

Specifiche