Un produttore di tecnologie per sistemi di ispezione e metrologia era alla ricerca di una soluzione innovativa e competitiva per le sue applicazioni di feedback dei dati in tempo reale. Celera Motion è stato in grado di fornire questa soluzione innovativa, utilizzando il kit di motori della serie Agility™ che garantisce movimenti più uniformi e più accurati per le misurazioni.
Il sfida
Il controllo del processo e la gestione dei rendimenti sono della massima importanza nella produzione di circuiti integrati, sistemi wafer, reticoli e LED. I produttori di dispositivi per applicazioni di ispezioni e metrologia possono ottenere vantaggi competitivi massimizzando la capacità delle loro applicazioni di rilevare e fornire dati di alta qualità in tempo reale nel processo di produzione allo scopo di individuare ed eliminare tempestivamente i difetti del processo stesso. In tali casi è essenziale disporre di soluzioni che consentono una rotazione estremamente scorrevole di componenti wafer, dispositivi e reticoli su moduli dotati di ampia apertura, in modo da garantire ai sistemi ottici e di scansione un percorso chiaro per l’ispezione e la scansione.
La soluzione
I kit di motori della serie Agility di Celera Motion offrono capacità di movimento scorrevole senza effetto cogging tra le migliori del settore e sono disponibili in fattori di forma con foro centrale a partire da 265 mm e diametri esterni a partire da 19 mm fino a oltre 292 mm. I motori scorrevoli e accurati senza slot della serie Agility sono stati integrati in diversi moduli rotanti impiegati per risolvere le molteplici sfide nelle applicazioni di ispezione e metrologia dei semiconduttori per i produttori di apparecchiature di tutto il mondo.
I vantaggi
La tecnologia dei motori senza slot ZeroCog™ di Celera Motion elimina il cogging della coppia. Il movimento scorrevole e accurato risultante consente di raccogliere immagini della massima qualità e i relativi dati di scansione. Le ampie aperture disponibili nei modelli della serie Agility garantiscono ai sistemi di ispezione ottica e scansione l’accesso ad aree critiche della superficie di ispezione, ma anche rapidi tempi di impostazione grazie a moduli ad azionamento diretto che consentono all’attrezzatura di raccogliere rapidamente grandi quantità di dati.
Specifiche
| Ampia apertura (diametro interno rotore) | Da 14,5 mm a oltre 265,7 mm |
| Sezione trasversale radiale dello statore | Tra le migliori del settore, <15% del diametro esterno dello statore |
| Diametro (esterno statore) | Da 19 mm a oltre 292 mm |
| Coppia continua | Da 0,05 Nm a oltre 13,5 Nm |
| Coppia di picco | Da 0,15 Nm a oltre 40,7 Nm |
| Cogging di coppia | Zero |
