検査および計測技術のメーカーは、リアルタイムのデータフィードバックの用途において競争力を求めていました。セレラモーションは、Agility™シリーズのモーターキットを使用してより正確で滑らかな動きを提供することで、求められた競争力を提供しました。
課題
プロセスの制御や歩留まり管理は、集積回路、ウェーハ、レチクルおよびLEDの製造において最も重要な機能です。検査および計測機器のメーカーは、高品質のリアルタイムデータを製造プロセスに素早くフィードバックして、製造プロセスの早期段階で欠陥を検出・排除するために機器の能力を向上させることによって、競争上の優位性を達成することができます。光学系と走査系に、検査と走査の明確な経路を提供する大口径のステージで、ウェーハ、デバイス、レチクルを滑らかに回転させることが不可欠な要素となります。
ソリューション
セレラモーションのAgilityシリーズのモーターキットは、業界初のゼロコギング・スムーズモーションを提供します。スルーホールが265mm以上、外径が19mm ～292mmのフォームファクターでご利用いただけます。 Agility シリーズのスムーズで正確なスロットレスモーターは、さまざまな回転ステージに統合でき、世界各地の機器メーカーの半導体の検査および計測への用途が抱える課題を解決しています。
メリット
Celera MotionのZeroCogTMスロットレスモーターテクノロジーによって、コギングトルクを排除します。これによって滑らかで正確な動作が得られ、最高品質の画像および走査データを収集することが可能になります。Agility シリーズで利用可能な大口径アパーチャにより、検査面の広い領域へのアクセスを可能にする光学検査およびスキンシステムを提供し、ダイレクトドライブステージからの整定時間の迅速さと相まって、大量のデータを素早く収集できます。
仕様
| 大口径 (Rotor ID) | 14.5 mm～265.7 mm |
| ステーター放射状断面 | 業界をリードする、ステーター外径の15％未満 |
| 直径（ステーター外径） | 19 mm～292 mm |
| 連続トルク | 0.05 Nm～13.5 Nm |
| ピークトルク | 0.15 Nm～40.7 Nm |
| コギングトルク | ゼロ |
