半導体技術の絶え間ない進歩とウェーハのサイズの縮小により、ウェーハ計測装置には絶え間なく高精度のモーションコントロールが求められ、そのため光学システムコンポーネントにはこれらの厳しい性能要件を満たすことが義務付けられます。モーションの軸に垂直な2つの軸での振れ、ドリル加工された穴の真円度、モーションの間および終了時のダイナミクスは特に重要です。低摩擦および一貫した摩擦、最適な移動そして整定性能が要求されます。これほどまでの性能を確実に達成するメカトロニクスアセンブリを設計および製造するには、高度なメカトロニクスの専門知識、高性能モーターおよびエンコーダーコンポーネント、複雑な微細加工プロセス、ベアリングシステム、特殊材料および製造プロセスの専門知識が必要になります。
新設計の精密リニアステージ機構は、Juke™ボイスコイルモーターとMercury™エンコーダーをコアコンポーネントとして使用し、優れた性能を発揮することで、Y軸とZ軸の振れ調整が可能になります。