精密フォトニクスステージ

半導体技術の絶え間ない進歩とウェーハのサイズの縮小により、ウェーハ計測装置には絶え間なく高精度のモーションコントロールが求められ、そのため光学システムコンポーネントにはこれらの厳しい性能要件を満たすことが義務付けられます。モーションの軸に垂直な2つの軸での振れ、ドリル加工された穴の真円度、モーションの間および終了時のダイナミクスは特に重要です。低摩擦および一貫した摩擦、最適な移動そして整定性能が要求されます。これほどまでの性能を確実に達成するメカトロニクスアセンブリを設計および製造するには、高度なメカトロニクスの専門知識、高性能モーターおよびエンコーダーコンポーネント、複雑な微細加工プロセス、ベアリングシステム、特殊材料および製造プロセスの専門知識が必要になります。

Celera Motionのメカトロニクスチームは、JukeのボイスコイルモーターとMercury のエンコーダーを、必要な性能を提供するためのコアコンポーネントとして使用して、Y方向とZ方向の振れ調整が可能な精密リニアステージメカニズムを設計しました。お客様から求められた厳しい性能と環境仕様を満たすために、特別な材料と微細加工プロセスを利用しました。Celera Motionのチームは、Celera Motionが開発した自社ソフトウェアプログラムによって制御される、Coordinate Measuring Machine（CMM：座標測定機）、共焦点レーザー、ロードセル、デジタルカメラ、および単軸モーションコントローラを含む効率的でスケーラブルなテストおよび較正方法を実装しました。お客様から求められた厳しい納品スケジュールに合わせて、設計と製造プロセスを迅速に導入し、連続生産へと迅速に移行しました。

精密ステージ設計は、カスタムキャリブレーションおよびテストソフトウェアと組み合わせて使用​​すると、最終組立から数分以内に超微細な振れ機能を実現することができます。調整可能な、数十ミリ秒の移動で整定できる精密スライドを設計する機能には、最先端の設計およびハードウェアが必要になります。Celera Motionのエンコーダーは、業界最高の光学アライメントマージンとナノメートルレベルの分解能を提供します。Celera Motionのモーターラインは、高出力とフォームファクタの比を特長としており、最小限のスペースと最大限の性能要件が重視される特殊な作業に最適です。