走査型電子顕微鏡 (SSSC-01)

課題

走査型電子顕微鏡（SEM）および透過型電子顕微鏡（TEM）には、高真空環境の外部および内部の両方で動作する高精度の直線および回転軸が必要です。単一のエンコーダータイプをシステム全体で使用して、製造元の統合を簡素化することが理想です。

ソリューション

MicroE Mercuryシリーズのエンコーダーの特許取得済みPurePrecision光学技術は、性能クラスで最もコンパクトなセンサーを実現し、同じセンサーをリニアまたはロータリースケールと組み合わせる設計が施されています。MicroEエンコーダーには、大気圧バージョンと高真空バージョンの両方で使用でき、10-8 Torrの真空定格で設計された真空対応材料で排気され、構築されるものがあります。この件では、小型、高分解能、デジタル信号出力の要件に合わせ、M2000および真空定格M2000Vセンサーが選択されました。

メリット

コンパクトな設計により、各軸のサイズと質量が大幅に削減されますが、M2000V設計の低消費電力により、真空内の熱適合性が向上します。M2000/M2000Vキットエンコーダーは、他のどのエンコーダーよりも小さく、高性能で、取り付けが迅速に行え、しかもセットアップや整合が容易であるという特徴を持っています。小さなセンサーは非常に狭いスペースに収まり、リニアでの用途とロータリーでの用途の両方で機能します。M2000Vセンサーは排気機能があり、真空に適合した材料で構成されており、150℃で48時間のベーキングが可能です。 カラーコードで示された裸のリードが、真空チャンバーのフィードスルーにお客様のターミネーションのために提供されます。

仕様