검사 및 계측

과제

집적 회로, 웨이퍼, 레티클 및 LED 제조 분야에서는 프로세스 제어 및 생산량 관리가 가장 중요합니다. 검사 및 계측 장비 제조업체는 가능한 한 제조 프로세스 초반에 결점을 탐지하고 제거하기 위해, 고품질의 실시간 데이터를 제조 프로세스에 빠르게 공급하여 장비 기능을 향상함으로써 경쟁 우위를 확보할 수 있습니다. 광학 및 스캔 시스템에 명확한 검사 및 스캐닝 경로를 제공하는 대형 조리개를 통해 스테이지에서 웨이퍼, 장치 및 레티클이 대단히 원활하게 회전하도록 만드는 것이 필수적입니다.

솔루션

Celera Motion의 Agility 시리즈 모터 키트는 업계 최고의 부드러운 제로 코깅 모션이 가능하며 265mm의 스루홀과 19mm~292mm 이상에 달하는 외부 직경을 특징으로 하는 폼팩터로 제공됩니다. Agility 시리즈의 부드럽고정확한 슬롯리스 모터는 다양한 회전식 스테이지에 통합되어, 전 세계 장비 제조업체가 직면한 수많은 반도체 검사 및 계측 응용 분야의 과제를 해결해 왔습니다.

이점

Celera Motion의 ZeroCogTM 슬롯리스 모터 기술은 코깅 토크를 제거합니다. 그 결과, 부드럽고 정확한 모션이 최고 품질의 이미지와 스캐닝 데이터를 수집할 수 있도록 지원합니다. Agility 시리즈에서 제공되는 대형 조리개는 검사 표면의 상당 부분에 접근할 수 있는 광학 검사 및 스캐닝 시스템을 제공해 주며, 직접 구동 스테이지에서 가능한 빠른 정착 시간이 적용되어 장비가 신속하게 대량 데이터를 수집할 수 있습니다.

제품 사양