웨이퍼 검사

과제

기존 반도체 제조 프로세스의 생산량을 지속적으로 향상하고 새롭고 더욱 복잡해지는 프로세스 및 설계의 시장 출시 시간을 단축해야 하므로, 웨이퍼와 프로세스 도구는 첨단 장비 및 측정 시스템을 통해 모니터링되어야 합니다. 정밀 회전식 스테이지는 일반적으로 검사 중에 웨이퍼를 이동시키는 데 사용됩니다. 웨이퍼 검사 프로세스의 처리량과 효율성을 극대화하기 위해 감지 및 검사 장비의 높이는 전반적으로 낮아야 하며 대형 조리개가 필요합니다. 상업적으로 사용 가능한 수많은 회전식 스테이지는 필요한 수준의 정확도와 반복성을 달성하기는 하지만, 응용 분야의 모든 요구 사항을 충족시키지는 못합니다.

솔루션

축 높이가 최저 8mm이며 400mm 이상의 조리개가 달린 Celera Motion Omni 시리즈 직접 구동 모터는 직접 구동모터에서 기대되는 부드럽고 정확한 모션으로 동급 최고의 폼팩터를 제공합니다. Omni 시리즈 모터로 설계된 회전식 스테이지는 극도의 편평함을 달성할 수 있으며 감지, 스캐닝 및 검사 장비를 위해 대형 조리개를 제공합니다.

이점

Celera Motion의 Omni 시리즈 모터는 수많은 편평형 회전식 스테이지에서 사용되었으며, 웨이퍼 검사 시스템이 원하는 생산량 및 처리량을 달성할 수 있도록 지원했습니다. 또한 Celera Motion에서는 오랜 세월 동안 경험을 축적해 온 엔지니어링 전문가 직원이 설계한 후 완전하게 조립과 테스트를 거친 선형 스테이지 및 메커트로닉스 패키지도 제공하고 있습니다. 프로젝트 중에 Celera의 엔지니어가 고도로 최적화된 솔루션을 설계하기 위해 고객과 긴밀히 협력합니다. 연속 생산인 경우 Celera의 최종 제품은 모터 구성품, 엔코더 구성품 또는 조립 및 테스트를 완전히 마친 회전식 스테이지일 수 있습니다.

제품 사양