주사형 전자 현미경

과제

SEM(주사형 전자 현미경) 및 TEM(투과형 전자 현미경)은 외부 및 내부의 고진공 환경에서 모두 작동하는 고정밀 선형 및 회전식 축을 필요로 합니다. 시스템 전반에서 단일 엔코더 테이프가 사용되어 제조업체의 통합이 간소화된다면 가장 이상적이라고 할 수 있습니다.

솔루션

MicroE Mercury 시리즈 엔코더의 특허받은 PurePrecision 광학 기술은 동급의 성능을 보이는 제품 중 가장 소형 센서를 탄생시켰으며, 동일한 센서가 선형 또는 회전식 유리 격자(눈금)와 연결될 수 있도록 설계되었습니다. 일부 MicroE 엔코더는 대기압 버전과, 10-8토르 진공 등급에 따라 설계된 진공 양립성 소재로 제작 및 통기되는 고진공 버전 모두로 제공됩니다. 이 경우 작은 크기, 고해상도 및 디지털 신호 출력을 위해 M2000 및등가의 진공 등급 M2000V 센서가 선택됩니다.

이점

M2000V 설계의 낮은 전력 소모가 진공 상태의 열 안정성을 돕는 한편, 소형 설계가 각 축의 크기와 질량을 현저하게 낮추는 결과를 가져옵니다. M2000/M2000V 키트 엔코더는 다른 어떤 엔코더보다도 크기가 더 작으면서 성능은 더 우수하며, 더 신속하게 설치할 수 있으면서도 사용하기 쉽습니다. 초소형 센서는 매우 협소한 공간에 적합하며 선형 및 회전식 응용 분야에서 모두 작동합니다. M2000V 센서는 진공 양립성 소재로 제작 및 통기되며 150°C에서 48시간 동안 소성하도록 설계되었습니다. 또한 진공 챔버 피드 스루에서 고객이 종료할 수 있도록 위해 색상이 지정된 베어 리드가 제공됩니다.

제품 사양