Mercury™ Serie – M1000V

Mercury ™ -Vakuum-Encoder sind aufgrund ihrer Kombination aus Leistung, geringen Abmessungen und hoher Vakuumleistung für eine Vielzahl von Anwendungen spezifiziert. Wählen Sie aus Modellen mit digitalem oder analogem Ausgang, die alle aus vakuumkompatiblen Materialien mit einem Druck von bis zu 10-8 Torr hergestellt sind.

Spezifikationen

Abmessungen20.6 x 12.7 x 8.4 mm
Schnittstelle, Digital-
Schnittstelle, Analog1 Vss sin/cos
Interpolationbis ×256 in der Kundenelektronik
Auflösungen5 µm - 78 nm
Genauigkeitsklasse, Linear Glasbis +/- 1 µm
Genauigkeitsklasse, Linear Metallband-
Teilungsabstand20 µm
Höchstgeschwindigkeit7.2 m/s
BetriebsumgebungVakuum bis 10^-8

Gitterkompatibilität

MIIL
Höchste Genauigkeitsklasse+/- 1µm
Messlängebis 995mm
Breite6mm/20mm
IndexMitte
MaterialKalknatron-Glas
Thermaler Ausdehnungskoeffizient8ppm/°C
MontageEpoxy