Optira シリーズ PI
MicroEの特許取得済みPurePrecision™テクノロジーと最先端のエレクトロニクスおよび信号処理を組み合わせたOptiraは、超小型・軽量なパッケージになっており、これまでにない性能を提供し、すべてのAGC、逓倍、および信号処理がセンサーヘッド内で行われ、最大5nmの分解能を実現しています。
寸法 | 11.4 x 13 x 3.7 mm |
インターフェイス、デジタル | A quad B |
インターフェイス、アナログ | 1 Vpp sin/cos |
逓倍 | センサーヘッド内 |
分解能 | 5 µm - 5 nm |
精度クラス、リニアガラス | up to +/- 1 µm/m |
精度クラス、リニアメタルテープ | up to +/- 5 µm/m |
スケールピッチ | 20 µm |
最高速度 | 4 m/s |
操作環境 | 大気, 真空可用 |
PILT | PILG | |
最高精度クラス | +/- 5µm | +/- 1µm |
測定長 | 最大30mまで | TBD |
幅 | 6mm | 6mm |
インデックス | 中央 | 中央 |
材質 | Inconel 625 | ソーダライムガラス |
熱膨張係数 | 13ppm/°C | 8ppm/°C |
取り付け | 感圧接着剤 | エポキシ |