Optira シリーズ PI

MicroEの特許取得済みPurePrecision™テクノロジーと最先端のエレクトロニクスおよび信号処理を組み合わせたOptiraは、超小型・軽量なパッケージになっており、これまでにない性能を提供し、すべてのAGC、逓倍、および信号処理がセンサーヘッド内で行われ、最大5nmの分解能を実現しています。

製品の特長:

OptiraシリーズPIの仕様

寸法11.4 x 13 x 3.7 mm
インターフェイス、デジタルA quad B
インターフェイス、アナログ1 Vpp sin/cos
逓倍センサーヘッド内
分解能5 µm - 5 nm
精度クラス、リニアガラスup to +/- 1 µm/m
精度クラス、リニアメタルテープup to +/- 5 µm/m
スケールピッチ20 µm
最高速度4 m/s
操作環境大気, 真空可用

グレーティングの互換性

PILTPILG
最高精度クラス+/- 5µm+/- 1µm
測定長最大30mまでTBD
6mm6mm
インデックス中央中央
材質Inconel 625ソーダライムガラス
熱膨張係数13ppm/°C8ppm/°C
取り付け感圧接着剤エポキシ