Mercury シリーズ M1000V

Mercury™ 真空エンコーダーは、性能、小型、高真空評価の組み合わせとして、幅広い用途でご使用いただいています。デジタルまたはアナログ出力を備えたモデルからお選びください。これらのモデルはすべて、定格最大10-8 torrまでの真空対応材料で構成されています。

製品の特長:

仕様書

寸法20.6 x 12.7 x 8.4 mm
インターフェイス、デジタル-
インターフェイス、アナログ1 Vpp sin/cos インデックス付き
逓倍お客様の電子機器で最大x256
分解能5 µm - 78 nm
精度クラス、リニアガラス最高+/- 1 µm
精度クラス、リニアメタルテープ-
スケールピッチ20 µm
最高速度7.2 m/s
動作環境真空度 最高10^-8

回折格子の互換性

MIIL
最高精度クラス+/- 1µm
測定長最長2020
20mm
インデックス中央または終端
材料ソーダライムガラス
熱膨張係数8ppm/°C
取り付けエポキシ