Mercury シリーズ M1500V
Mercury™ 真空エンコーダーは、性能、小型、高真空評価の組み合わせとして、幅広い用途でご使用いただいています。デジタルまたはアナログ出力を備えたモデルからお選びください。これらのモデルはすべて、定格最大10-8 torrまでの真空対応材料で構成されています。
寸法 | 20.6 x 12.7 x 8.4 mm |
インターフェイス、デジタル | A quad Bインデックス付き |
インターフェイス、アナログ | - |
逓倍 | センサーで 最高40倍 |
分解能 | 5 µm - 0.5 µm |
精度クラス、リニアガラス | 最高+/- 1 µm |
精度クラス、リニアメタルテープ | - |
スケールピッチ | 20 µm |
最高速度 | 7.2 m/s |
動作環境 | 真空度 最高10^-8 |
L | |
最高精度クラス | +/- 1µm |
測定長 | 最長2020 |
幅 | 20mm |
インデックス | 中央または末端 |
材料 | ソーダライム |
熱膨張係数 | 8ppm/°C |
取り付け | エポキシ |