Mercury II シリーズ MII6000V
Mercury II™ デジタル出力の高真空定格エンコーダーは、クラス最高の分解能、精度、小型センサーサイズを提供します。MicroEの幅広いアライメント許容量で、他の市販の10-8 Torr 定格エンコーダーには、これほどアライメントが容易で使いやすく、設計に容易に組み込めるものはありません。
SPECIFICATION | VALUE |
寸法 | 22.6 x 12.7 x 8.1 mm |
インターフェイス、デジタル | A quad Bインデックスとリミット付き |
インターフェイス、アナログ | - |
逓倍 | センサーコネクターで最高 ×16,384 |
分解能 | 5 µm - 1.2 nm |
精度クラス、リニアガラス | 最高+/- 1 µm |
精度クラス、リニアメタルテープ | - |
スケールピッチ | 20 µm |
最高速度 | 5 m/s |
動作環境 | 真空度 最高10^-8 まで |
MIIL | |
最高精度クラス | +/- 1µm |
測定長 | 995mmまで |
幅 | 6mm/20mm |
インデックス | 中央 |
材料 | ソーダライムガラス |
熱膨張係数 | 8ppm/°C |
取り付け | エポキシ |