Производитель контрольного и метрологического оборудования искал выгодное решение для своей системы передачи данных в реальном времени.
Celera Motion предоставила это решение, использовав комплект двигателей серии Agility™, чтобы обеспечить более плавное и точное движение в ходе измерений.
Проблема
Управление производственными процессами и доходами имеет первостепенное значение при производстве интегральных микросхем, пластин, сеток и светодиодов. Производители контрольного и метрологического оборудования могут добиться конкурентных преимуществ, улучшив возможности своего оборудования по быстрой передаче высококачественных данных о производственном процессе в реальном времени для быстрого выявления и устранения дефектов на его ранней стадии. В этой связи очень важным является чрезвычайно плавное вращение пластин, устройств и сеток на столике с большой апертурой, обеспечивающей качественную работу оптических и сканирующих систем.
Решение
Комплекты двигателей серии Agility от Celera Motion обеспечивают несравненно плавное движение с нулевой пульсацией крутящего момента и доступны в форм-факторе со сквозными отверстиями от 265 мм и более и наружным диаметром от 19 мм до более чем 292 мм. Плавные и точные бесщелевые двигатели серии Agility встраиваются в самые различные поворотные столики, позволяя решать многочисленные задачи по контролю и метрологическим измерениям характеристик полупроводников для производителей оборудования по всему миру.
Преимущество
Технология бесщелевого двигателя ZeroCog™ от Celera Motion устраняет пульсацию крутящего момента. Обеспечиваемое при этом плавное и точное движение позволяет получать изображения и данные сканирования самого высокого качества. Большие апертуры, доступные в серии Agility, обеспечивают для систем оптического контроля и сканирования доступ к большим участкам поверхности, а малое время настройки, обеспечиваемое за счет использования столиков с непосредственной передачей вращения, позволяет оборудованию быстро собирать большое количество данных.
Характеристики
| Большая апертура (ВД ротора) | От 14,5 мм до более чем 265,7 мм |
| Радиальное сечение статора | Лучший показатель в отрасли, менее 15 % от наружного диаметра статора |
| Диаметр (НД статора) | От 19 мм до более чем 292 мм |
| Непрерывный крутящий момент | От 0,05 Н·м до более чем 13,5 Н·м |
| Пиковый крутящий момент | От 0,15 Н·м до более чем 40,7 Н·м |
| Пульсация крутящего момента | Нулевая |
