Контроль полупроводниковых пластин — это очень точная процедура, в которой большое внимание уделяется времени. Лучший в своем классе форм-фактор, а также плавное и точное движение двигателя серии Omni помогли нашему заказчику достичь желаемых требований к инструменту для контроля пластин и в конечном итоге создать устройство, обладающее исключительной точностью и воспроизводимостью.
Проблема
Необходимость постоянного повышения производительности существующих технологий изготовления полупроводников, сокращения времени выхода на рынок новых и все более сложных процессов и конструкций требует, чтобы пластины и технологические инструменты проверялись с помощью современного оборудования и измерительных систем. Для перемещения пластин во время их проверки обычно используются прецизионные поворотные столики. Для увеличения пропускной способности и эффективности контроля полупроводниковых пластин требуется малая общая высота столика и большая апертура для измерительного и контрольного оборудования. Многие коммерческие поворотные столики не отвечают всем требованиям к уровню точности и воспроизводимости.
Решение
Двигатели непосредственной передачи вращения серии Omni от Celera Motion с высотой в осевом направлении всего 8 мм и апертурой более 400 мм обладают лучшим в своем классе форм-фактором, а также обеспечивают плавное и точное движение, ожидаемое от двигателей такого типа. Поворотные столики с двигателями серии Omni могут иметь чрезвычайно низкий профиль и обеспечивать большую апертуру для измерительного, сканирующего и контрольного оборудования.
Преимущество
Двигатели серии Omni от Celera Motion использовались во многих низкопрофильных поворотных столиках и позволили достичь требуемой производительности и пропускной способности систем контроля пластин. Celera Motion также предлагает полностью собранные и протестированные поворотные столики и комплекты мехатронного оборудования, разработанные опытным техническим персоналом с многолетним опытом работы. В ходе проекта инженеры Celera тесно сотрудничают с заказчиком, чтобы разработать как можно более оптимизированное решение.
Celera может серийно поставлять компоненты двигателя, компоненты энкодера или полностью собранные и испытанные поворотные столики.
Характеристики
| Непрерывный крутящий момент | До 5,9 Н·м |
| Пиковый крутящий момент | До 17,7 Н·м |
| Диаметр (НД статора) | От 45 до 165 мм |
| Сквозное отверстие (ВД ротора) | От 32 до 120 мм |
| Максимальная скорость | До 5000 об/мин |
