Контроль полупроводниковых пластин — это очень точная процедура, в которой большое внимание уделяется времени. Лучший в своем классе форм-фактор, а также плавное и точное движение двигателя серии Omni помогли нашему заказчику достичь желаемых требований к инструменту для контроля пластин и в конечном итоге создать устройство, обладающее исключительной точностью и воспроизводимостью.

Проблема

Необходимость постоянного повышения производительности существующих технологий изготовления полупроводников, сокращения времени выхода на рынок новых и все более сложных процессов и конструкций требует, чтобы пластины и технологические инструменты проверялись с помощью современного оборудования и измерительных систем. Для перемещения пластин во время их проверки обычно используются прецизионные поворотные столики. Для увеличения пропускной способности и эффективности контроля полупроводниковых пластин требуется малая общая высота столика и большая апертура для измерительного и контрольного оборудования. Многие коммерческие поворотные столики не отвечают всем требованиям к уровню точности и воспроизводимости.

Решение

Двигатели непосредственной передачи вращения серии Omni от Celera Motion с высотой в осевом направлении всего 8 мм и апертурой более 400 мм обладают лучшим в своем классе форм-фактором, а также обеспечивают плавное и точное движение, ожидаемое от двигателей такого типа. Поворотные столики с двигателями серии Omni могут иметь чрезвычайно низкий профиль и обеспечивать большую апертуру для измерительного, сканирующего и контрольного оборудования.

Преимущество

Двигатели серии Omni от Celera Motion использовались во многих низкопрофильных поворотных столиках и позволили достичь требуемой производительности и пропускной способности систем контроля пластин. Celera Motion также предлагает полностью собранные и протестированные поворотные столики и комплекты мехатронного оборудования, разработанные опытным техническим персоналом с многолетним опытом работы. В ходе проекта инженеры Celera тесно сотрудничают с заказчиком, чтобы разработать как можно более оптимизированное решение.
Celera может серийно поставлять компоненты двигателя, компоненты энкодера или полностью собранные и испытанные поворотные столики.

Характеристики

Непрерывный крутящий моментДо 5,9 Н·м
Пиковый крутящий моментДо 17,7 Н·м
Диаметр (НД статора)От 45 до 165 мм
Сквозное отверстие (ВД ротора)От 32 до 120 мм
Максимальная скоростьДо 5000 об/мин
Приложение для проверки вафли
Двигатель с прямым приводом серии Omni2
Двигатель с прямым приводом серии Omni