Прецизионный столик для фотоники

Проблема

Постоянное развитие технологии полупроводников и уменьшение размеров полупроводниковых пластин обеспечивают постоянное повышение точности управления движением измерительного оборудования, позволяя оптическим системам достигать высоких требований к производительности. Особенно важны биение по двум осям, перпендикулярным оси движения, округлость просверленных отверстий и динамика во время и в конце движения. Необходимо обеспечить низкое и стабильное значение трения, а также оптимальный ход и возможности для регулировки. Для проектирования и изготовления мехатронных узлов, которые позволят достичь стабильного уровня производительности, требуется надежный партнер в сфере точного управления движением, обладающий передовыми знаниями в области мехатроники, использующий высокопроизводительные двигатели и энкодеры и сложные процессы производства микроустройств, а также имеющий большой опыт в разработке подшипниковых систем, специальных материалов и производственных процессов.

Решение

Используя двигатель на звуковой катушке Juke и энкодер Mercury для обеспечения требуемых показателей производительности, специалисты Celera Motion по мехатронике разработали прецизионный линейный столик, способный регулировать биение по осям Y и Z. Для удовлетворения высоких требований заказчика и экологических ограничений были использованы специальные материалы и процессы производства микроустройств. Команда Celera Motion внедрила эффективные и масштабируемые методы испытаний и калибровки, в которых используются приборы координатно-измерительной машины, конфокальные лазеры, тензодатчики, цифровые камеры и одноосный контроллер движения, находящиеся под управлением разработанной Celera Motion программы. Процедуры разработки и производства были успешно и быстро внедрены в серийное производство в соответствии с жестким графиком поставок заказчика.

Преимущество

Конструкция прецизионного столика в сочетании со специализированным программным обеспечением для испытаний и калибровки способна обеспечить сверхточный контроль биения уже через несколько минут после окончательной сборки. Для создания точно регулируемой платформы, которая может перемещаться и настраиваться за десятки миллисекунд, нужны современные конструкция и аппаратное обеспечение. Энкодеры Celera Motion обеспечивают самое точное в отрасли оптическое выравнивание и разрешающую способность на уровне нанометров. Двигатели Celera Motion отличаются высокой производительностью и малым форм-фактором, что делает их идеальным решением для специализированных сфер применения, в которых существуют строгие ограничения к пространству и требования к максимальной производительности.

Характеристики

Энкодер серии Mercury™

Двигатель серии Juke™