Сканирующие электронные микроскопы

Проблема

Сканирующие электронные микроскопы и просвечивающие электронные микроскопы оснащаются высокоточными линейными и поворотными осями, которые работают как в высоковакуумной среде, так и за ее пределами. В идеальной ситуации во всей системе используется один тип энкодера, что упрощает интеграцию для производителя.

Решение

Запатентованная оптическая технология PurePrecision энкодеров серии MicroE Mercury позволяет создавать самые компактные в своем классе производительности датчики, а также дает возможность подключать одни и те же датчики к линейным и поворотным стеклянным решеткам (шкалам). Некоторые энкодеры MicroE предназначены для работы при атмосферных условиях, другие, высоковакуумные конструкции, из которых можно откачивать воздух, изготавливаются из материалов, рассчитанных на глубину вакуума 10–8 торр. В данном случае за свой малый размер, высокую разрешающую способность и выходной цифровой сигнал были выбраны датчики M2000 и аналогичные вакуумные датчики M2000V.

Преимущество

Компактная конструкция позволяет значительно уменьшить размеры и массу каждой оси, а низкое энергопотребление конструкции M2000V способствует термостабильности в вакууме. Энкодеры M2000/M2000V имеют меньшие размеры, более высокую производительность, быстрее устанавливаются и отличаются более простой настройкой и выравниванием, чем любые другие энкодеры.
Миниатюрный датчик подходит для установки в очень ограниченные пространства и доступен как в линейном, так и в поворотном исполнении.
Датчик M2000V, из которого можно откачивать воздух, изготавливается из пригодных для использования в вакууме материалов и рассчитан на 48 часов прокаливания при 150 °C. Оголенные провода с цветовой кодировкой предназначены для подключения к клеммам в вакуумной камере.

Характеристики