Tarayıcı Elektron Mikroskopları

Zorluk

Tarayıcı Elektron Mikroskopları (SEM) ve Transmisyon Elektron Mikroskopları (TEM) yüksek vakumlu ortamların hem dışında hem de içinde çalışan yüksek hassasiyetli lineer ve döner eksenlere gereksinim duyar. İdeal olarak, üreticiye entegrasyonu kolaylaştırmak için sistem çapında tek bir kodlayıcı türü kullanılabilir.

Çözüm

MicroE Mercury serisi kodlayıcıların patentli PurePrecision optik teknolojisi performans sınıflarındaki en kompakt sensörleri sağlar ve bu sensörlerin lineer ya da döner cam ağlarla (skalalar) birlikte kullanılabileceği şekilde tasarlanır. Hem atmosferik versiyonları hem de yüksek vakumlu versiyonları olan, havalandırmalı ve 10-8 Torr vakum sınıflandırmaksıyla vakuma uyumu materyallerle tasarlanan çeşitli MicroE kodlayıcılar mevcuttur. Bu vakada, küçük boyutları, yüksek çözünürlükleri ve dijital sinyal çıkışları sebebiyle M2000 ve vakum sınıflandırmalı muadili M2000V sensörler seçilmiştir.

Avantaj

Kompakt tasarım sayesinde her eksenin boyutu ve kütlesi önemli oranda azaltılırken, M2000V’nin düşük güç tüketimi vakumda termal uygunluk sağlanmasına yardımcı olur. M2000/M2000V kit kodlayıcılar tüm diğer kodlayıcılardan daha küçük, daha yüksek performanslı, daha hızlı kurulabilen ve daha kolay ayarlanan ve hizalanan kodlayıcılardır. Ufak sensör çok dar alanlara sığar ve hem lineer hem de döner uygulamalarda kullanılabilir. M2000V sensör havalandırmalıdır, vakuma uyumlu materyallerden yapılmıştır ve 150°C’de 48 saat gaz uçurma için tasarlanmıştır. Müşteri tarafından vakum haznesi ‘feed-thru’sunda sonlandırılabilmeleri için renk kodlamalı çıplak teller sağlanır.

Teknik Özellikler