Muayene ve Metroloji

Zorluk

Süreç kontrolü ve getiri yönetimi entegre devreler, wafer’lar, retiküller ve LED’lerin üretiminde çok büyük öneme sahiptir. Muayene ve metroloji ekipmanı üreticileri kusurları üretim sürecinde mümkün olduğunca erken şekilde hızlıca tespit etmek ve ortadan kaldırmak için ekipmanlarını üretim sürecine daha yüksek kaliteli, gerçek zamanlı veri geribeslemesi yapacak şekilde geliştirerek rekabet avantajı elde edebilmektedir. Büyük apertürlü bir tabla üzerindeki wafer’lar, cihazlar ve retiküllerin son derece sarsıntısız bir şekilde dönerek optik ve tarama sistemlerine muayene ve tarama için açık bir yol sağlaması şarttır.

Çözüm

Celera Motion’ın Agility Serisi motor kitleri endüstri lideri sıfır cogging sarsıntısız hareket sağlar ve 265 mm ve daha büyük geçiş deliklerine ve 19 mm ila 292 mm’nin üstüne kadar dış çaplara sahip biçim faktörlerinde mevcuttur. Agility serisi sarsıntısız ve doğru slotsuz motorlar tüm dünyada ekipman üreticilerinin pek çok yarı iletken muayene ve metroloji zorluğunun üstesinden gelmek için pek çok döner tabllaya entegre edilmiştir.

Avantaj

Celera Motion’ın ZeroCog™ slotsuz motor teknolojisi cogging torkunu ortadan kaldırır. Ortaya çıkan sarsıntısız ve doğru hareket sayesinde en yüksek kalite görüntü ve tarama verilerinin toplanması mümkün hâle gelir. Agility Serisinde mevcut olan geniş apertürler optik denetleme ve tarama sistemlerinin büyük muayene yüzeylerine erişebilmesini sağlar ve buna doğrudan tahrik tablalarının hızlı oturma süreleri de eklenince ekipmanların büyük miktarda veriyi hızla toplaması mümkün olur.

Teknik Özellikler