晶片检验

挑战

需要持续提高现有半导体制造工艺的产量并缩短新的和日益复杂的工艺和设计的上市时间。这就要求使用最先进的设备和测量系统来监测晶片和工艺工具。精密旋转台通常用于在检验期间移动晶片。需要采用低的平台总高度以及用于感应和检验设备的大孔径，以最大化晶片检验工艺的吞吐量和效率。许多可商购的旋转台并不能既实现必要的精度和可重复性水平，又能满足所有的应用要求。

解决方案

Celera Motion Omni系列直驱电机轴向高度低至8 毫米，孔径超过400毫米，提供同类最佳的外形尺寸，并且直驱电机可实现平稳和准确的运动。使用Omni系列电机设计的旋转台可以实现极小的外形尺寸，并为传感、扫描和检验设备提供大的孔径。

优点

Celera Motion的Omni系列电机已被用于许多精小外形的旋转台，并使晶片检验系统能够实现所需的产量和吞吐量。 Celera Motion还提供经过完全组装和测试的旋转台以及机电一体化封装，它们由具有多年经验的专业工程人员设计而成。在项目实施期间，Celera的工程师与客户紧密合作，以设计一套高度优化的解决方案。在批量生产时，Celera的最终产品可以是电机元件，编码器元件或经过完全组装和测试的旋转台。

规格