检验和计量

挑战

在集成电路、晶片、掩模版和LED的制造中，过程控制和产量管理最为重要。检验和计量设备制造商可以通过提高其设备的性能来实现竞争优势，以将高质量的实时数据快速反馈回制造过程，从而尽可能早地检测和消除制造过程中的缺陷。 在具有大孔径（为光学和扫描系统提供检验和扫描的清晰路径）的平台上极其平稳地旋转晶片、器件和掩模版是非常必要的。

解决方案

Celera Motion的Agility系列电机套件提供业界领先的零齿槽效应平稳运动，并提供有通孔为265毫米及更大、外径从19毫米到超过292毫米不等的外形尺寸。Agility系列平稳和精确的无槽电机已被集成到许多不同的旋转台中，为全球设备制造商解决多个半导体检验和计量应用挑战。

优点

Celera Motion的ZeroCogTM无槽电机技术消除了齿槽扭矩。所得到的平稳和精确的运动使其能够采集最高质量的图像和扫描数据。Agility系列中的大孔径使光学检测和扫描系统能够检测表面大部分区域，加上从直驱平台可实现的快速稳定时间，使设备可以快速收集大量数据

规格