扫描电子显微镜

挑战

扫描电子显微镜（SEM）和透射电子显微镜（TEM）需要高精度的线性和旋转轴，并可在高真空环境内外运行。单个编码器类型最好可以在整个系统中使用，以简化制造商的集成。

解决方案

MicroE Mercury系列编码器的拥有专利的PurePrecision光学技术产生其性能等级中最紧凑的传感器，并且使相同的传感器可以与线性或旋转玻璃光栅（尺）配对。 一些MicroE编码器可用于大气版本和用真空兼容材料和排气构成的高真空版本，根据10-8 托真空评级设计。在这种情况下，选用M2000和真空额定等效M2000V传感器以适应小尺寸、高分辨率和数字信号输出。

优点

紧凑的设计使每个轴的尺寸和质量显著地减小，而M2000V设计的低功耗有助于真空中的热适应性。M2000/M2000V套件编码器比任何其他编码器尺寸更小、性能更高、安装更快，并且更易于安装和对齐。微小的传感器适用于非常狭窄的空间，可用于线性和旋转应用。M2000V传感器用真空兼容材料排气和构成，并设计成可在150°C下烘烤48小时。提供彩色编码裸引线，以便客户在其真空室馈通处端接。

规格