メモリおよびロジックチップを製造するために使用されるビームステアリングシステムのモーターでは小さなプロファイルであることが重要です。セレラモーションのJavelin™モーターは、この理想的な設置面積と強化されたモーションを提供し、このタイプの機器の最適な選択肢となりました。
メモリおよびロジックチップを製造するために使用されるビームステアリングシステムのモーターでは小さなプロファイルであることが重要です。セレラモーションのJavelin™モーターは、この理想的な設置面積と強化されたモーションを提供し、このタイプの機器の最適な選択肢となりました。
世界中のすべてのメモリおよびロジックチップの製造で使用される軽視準およびビームステアリングシステムは、制限のあるスペースで複数軸の動作を必要とします。従来の両面リニアモーターはかなり大きく、これらのシステムに共通な200~500gのペイロードは、その動きにこれほどの大きな力を必要としません。移動距離は数cmを必要としますが、ボイスコイルモーターとアクチュエーターは通常、数mmしか移動しません。
Celera MotionJavelinの片面空心リニアモーターは、小型設置面積、非常に滑らかな動き、数cmの移動距離という理想的な組み合わせを提供します。 ロープロファイル(12mm以下)および片面構造になっているため、Javelin シリーズのモーターを近接して取り付けることができます。
Javelinシリーズの片面モーターを用いて設計された多軸軽量コリメーション/ビームステアリング機構により、OEMは従来のリニアモーターで設計された同様の機構よりも小型で軽量のシステムを設計できます。Javelinシリーズのリニアモーターを用いたこのシステムは、一般的なボイスコイルモーターでは実現できないほどの移動距離を実現します。
連続力 | 最高8.2 N |
ピークフォース | 最高24.6 N |
最高速度 | 9~24 m/sまで |
ピーク電流 | 最高8.5 A |
ロープロファイル | <12 mm |
細幅 | 25 mm |
ストローク | 500 mm以上 |
滑らかな動作 | 滑らかさを達成するためのスロットレス可動コイル設計 |
分解能 | Optiraシリーズのエンコーダで5ナノメートル |
精度 | Optiraシリーズのエンコーダで1マイクロメートル |
リピータビリティー | 最小1ナノメートル |