精密光电平台

半导体技术的不断发展和晶片的缩小，使得晶片计量设备将精密运动的控制水平不断提高，以确保光学系统元件满足这些苛刻的性能要求。在垂直于运动轴的两个轴上的跳动、钻孔的圆度以及在运动期间和结束时的动力都特别重要。必须具备极低且一致的摩擦力和最佳的移动和稳定性能。设计和制造可靠地达到这种性能水平的机电一体化组件，需要具有高级机电一体化专门技术的可靠精密运动合作伙伴、高性能电机和编码器元件、复杂的微细加工工艺以及轴承系统、特殊材料和制造工艺方面的专业知识。

Celera Motion的机电一体化团队使用Juke音圈电机和Mercury编码器作为核心元件来提供所需性能，设计出一个精密的线性平台机构，可在Y和Z方向进行跳动调整。使用特殊材料和微细加工工艺来满足客户要求苛刻的性能和环境规格。Celera Motion团队实施了高效和可扩展的测试和校准方法，包括坐标测量机（CMM）仪器、共焦激光器、称重传感器，数码相机和单轴运动控制器，而且它们均由Celera Motion的内部软件程序进行控制。成功引进设计和制造流程，并快速升级为连续生产，从而满足了客户苛刻的交付计划。

精密平台设计与定制校准和测试软件结合使用，能够在最终组装的几分钟内实现超精细的跳动功能。要具备设计既可调节又可在几十毫秒内移动并稳定下来的精密滑块的能力，需要最先进的设计和硬件。Celera Motion编码器提供行业领先的光学对齐边距和纳米级分辨率。Celera Motion的电机生产线致力于实现高产出外形尺寸比，使其成为专门化作业的理想选择，其中最小的空间和最大的性能要求是非常重要的。