Étage photonique de précision

Le défi à relever

Les progrès constants de la technologie des semi-conducteurs et la réduction de la taille des plaquettes exigent des niveaux de commande de mouvement toujours plus précis de la part des équipements de métrologie sur plaquettes, pour que les composants du système optique répondent à ces exigences de performance.   Le battement au niveau des deux axes perpendiculaires à l’axe du mouvement, la rondeur des trous percé et la dynamique pendant et à la fin du mouvement sont particulièrement critiques. Un frottement faible et constant, ainsi que des performances optimales en matière de déplacement et d’établissement sont nécessaires.  Pour concevoir et fabriquer des assemblages mécatroniques garantissant de manière fiable un tel niveau de performance, il est essentiel de travailler avec un partenaire expert des mouvements de précision et doté d’une expertise avancée en matière de mécatronique, de composants de moteur et codeur haute performance et de procédés de microfabrication complexes, et ayant une connaissance approfondie des systèmes de roulements, des matériaux spéciaux et des processus de fabrication.

La solution

En utilisant un moteur à bobine vocale Juke et un codeur Mercury comme composants centraux pour assurer les performances requises, la division mécatronique de Celera Motion a conçu un mécanisme à platine linéaire de précision, capable d’ajuster le battement dans les directions Y et Z.   Des matériaux et des procédés de microfabrication spéciaux ont été utilisés pour répondre aux exigences de performance et de respect de l’environnement du client. L’équipe Celera Motion a mis en œuvre des méthodes de test et d’étalonnage efficaces et évolutives, notamment des instruments de mesure de coordonnées (CMM), des lasers confocaux, des capteurs à jauge, des caméras numériques et un contrôleur de mouvement à axe unique, tous contrôlés par le logiciel développé par Celera Motion. Les processus de conception et de fabrication ont été introduits avec succès et sont passés rapidement en production en série afin de respecter le calendrier de livraison très serré du client.

Avantage

Utilisée en combinaison avec le logiciel de calibration et de test sur mesure, la platine de précision permet d’atteindre des capacités de battement ultra-précises seulement quelques minutes après l’assemblage final.   La possibilité de concevoir une glissière de précision, réglable et pouvant se déplacer en seulement quelques millisecondes, exige une conception et un matériel de pointe. Les codeurs Celera Motion offrent des marges d’alignement optique de pointe et une résolution nanométrique. La gamme de moteurs Celera Motion est spécialisée sur les modèles à ratio sortie/facteur de forme élevé, ce qui les rend idéaux pour les applications spécialisées où un encombrement minimum et une performance maximale sont essentiels.

Caractéristiques techniques

Codeurs – Série Mercury™

Moteur – Série Juke™