Hassas Fotonik Tablası

Zorluk

Yarı iletken teknolojisinin sürekli olarak gelişmesi wafer şekillerinin giderek küçülmesi, wafer metroloji ekipmanlarının optik sistem komponentlerinin bu zorlu performans gerekliliklerini karşılamasını sağlamak üzere giderek daha yüksek seviyelerde hareket hassasiyeti sağlamasına yol açmaktadır. Özellikle hareket eksenine dik gelen iki eksendeki kaçıklık, açılan deliklerin yuvarlaklığı ve hareket esnasında ve sonrasındaki dinamikler kritik önemdedir.  Düşük ve tutarlı friksiyon ve optimal hareket ve oturma performansı gereklidir. Bu seviyede bir performansı hatasız bir şekilde sağlayan mekatronik tertibatlarının tasarlanması ve üretimi ileri mekatronik uzmanlığına sahip bir hassas hareket ortağı, yüksek performanslı motor ve kodlayıcı komponentleri, karmaşık mikrofabrikasyon süreçleri ve yatak sistemleri, özel materyaller ve imalat süreçleri hakkında uzman bilgisi gerektirir.

Çözüm

Gerekli olan performansı sağlamak üzere temel komponentler olarak bir Juke ses bobini motorunu ve bir Mercury kodlayıcıyı kullanan Celera Motion mekatronik ekibi, Y ve Z yönlerinde kaçıklık ayarlaması yapabilen hassas bir lineer tabla mekanizması tasarlamıştır. Müşterinin zorlu performans ve çevre şartnamelerini karşılamak için özel materyallerden ve mikrofabrikasyon süreçlerinden yararlanılmıştır. Celera Motion ekibi Koordinat Ölçüm Makinesi (CMM) enstrümanları, eşodaklı lazerler, yük hücreleri, dijital kameralar ve tek eksenli bir hareket kontrolörü içeren ve tümü Celera Motion’ın kendi yazılım programı tarafından kontrol edilen verimli ve ölçeklenebilir test ve kalibrasyon yöntemlerini hayata geçirmiştir.  Tasarım ve imalat süreçleri başarıyla tamamlanmış ve müşterinin zorlu teslimat takvimine uygun olarak hızla seri üretime geçilmiştir.

Avantaj

Hassas tabla tasarımı, özel kalibrasyon ve test yazılımıyla birlikte kullanıldığında, nihai montajı takiben dakikalar içinde ultra ince kaçıklık sağlanmasına imkan vermektedir. Aynı şekilde ayarlanabilir olan ve onlarca milisaniye içinde hareket edip yerine oturabilen hassas bir slayt tasarlayabilmek için gelişmiş tasarıma ve donanımlara ihtiyaç vardır. Celera Motion kodlayıcıları endüstri lideri optik hizalama marjları ve nanometre seviyesinde çözünürlük sağlar. Celera Motion motorları yüksek çıktı-biçim faktörü oranlarında uzmanlaşmıştır ve bu da onları asgari alan ve azami performans gereksinimlerinin şart olduğu özel işler için ideal hâle getirir.

Teknik Özellikler

Mercury™ Serisi Kodlayıcı

Juke™ Serisi Motor