정밀 광기술 스테이지

반도체 기술이 끊임없이 발전하고 웨이퍼 모양의 크기가 축소되면서, 광학 시스템 구성품이 이러한 까다로운 성능 요구 사항을 충족할 수 있도록, 웨이퍼 계측 장비의 정밀 모션 제어 수준은 끊임없이 향상되고 있습니다. 모션의 축에 수직인 두 축의 런아웃, 드릴 구멍의 원형성, 그리고 모션 도중과 모션이 끝날 때의 역학은 특히 중요한 요소입니다. 낮은 힘의 일관된 마찰력과 최적의 이동 및 정착 성능이 요구됩니다. 이러한 수준의 성능을 안정적으로 달성하는 메커트로닉스 어셈블리를 설계 및 제조하기 위해서는 고급 메커트로닉스 전문 지식, 고성능 모터 및 엔코더 구성품, 복잡한 미세 가공 프로세스 및 베어링 시스템에 대한 전문 지식, 특수 소재 및 제조 프로세스를 갖춘 신뢰할 수 있는 정밀 모션 파트너가 필요합니다.

Celera Motion의 메커트로닉스 팀에서는 Juke 보이스 코일 모터와 Mercury 엔코더를 필요한 성능을 제공하기 위한 핵심 구성품으로 사용하여, Y 및 Z 방향에서 런아웃 조정을 할 수 있는 정밀 선형 스테이지 메커니즘을 설계했습니다. 고객의 까다로운 성능 및 환경 사양을 충족시키기 위해 특수 소재와 미세 가공 프로세스가 활용되었습니다. Celera Motion 팀은 효율적이며 확장 가능한 테스트 및 보정 방법을 구현했으며 여기에는 CMM(좌표 측정 기계) 계기, 공초점 레이저, 로드 셀, 디지털 카메라 및 단일 축 모션 컨트롤러 등이 포함되어 있습니다. 그리고 이 모든 것이 Celera Motion의 자체 제작 소프트웨어 프로그램으로 제어됩니다. 고객의 까다로운 납품 일정에 맞추기 위해 설계 및 제조 프로세스가 성공적으로 도입된 후 연속 생산으로 빠르게 전환되었습니다.

정밀 스테이지 설계가 맞춤형 보정 및 테스트 소프트웨어와 함께 사용되는 경우 최종 조립 후 수분 이내에 대단히 미세한 런아웃 기능을 제공할 수 있습니다. 조정 가능하며 수십 밀리초 사이에 이동 및 정착할 수 있는 정밀 슬라이드를 설계하기 위해서는 첨단 설계 및 하드웨어 기술이 필요합니다. Celera Motion 엔코더는 업계 최고의 광학 정렬 마진과 나노미터 수준의 해상도를 제공합니다. Celera정밀 스테이지 설계가 맞춤형 보정 및 테스트 소프트웨어와 함께 사용되는 경우 최종 조립 후 수분 이내에 대단히 미세한 런아웃 기능을 제공할 수 있습니다. 조정 가능하며 수십 밀리초 사이에 이동 및 정착할 수 있는 정밀 슬라이드를 설계하기 위해서는 첨단 설계 및 하드웨어 기술이 필요합니다. Celera Motion 엔코더는 업계 최고의 광학 정렬 마진과 나노미터 수준의 해상도를 제공합니다. Celera정밀 스테이지 설계가 맞춤형 보정 및 테스트 소프트웨어와 함께 사용되는 경우 최종 조립 후 수분 이내에 대단히 미세한 런아웃 기능을 제공할 수 있습니다. 조정 가능하며 수십 밀리초 사이에 이동 및 정착할 수 있는 정밀 슬라이드를 설계하기 위해서는 첨단 설계 및 하드웨어 기술이 필요합니다. Celera Motion 엔코더는 업계 최고의 광학 정렬 마진과 나노미터 수준의 해상도를 제공합니다. Celera Motion의 모터 라인업은 고출력 대 폼팩터 비율에 전문화되어 있어 최소의 공간과 최대의 성능 요구 사항이 가장 중요한 특수 작업에 이상적입니다.