El mecanismo de etapa lineal de precisión de nuevo diseño es capaz de ajustar la desviación en los ejes Y y Z mediante el uso de un motor de bobina de voz Juke™ y un codificador Mercury™ como componentes centrales para ofrecer un rendimiento excepcional.
El reto
El avance constante de la tecnología de semiconductores y la reducción del tamaño de las características de las obleas, lleva los equipos de metrología de obleas a niveles cada vez mayores de control de movimiento de precisión para garantizar que los componentes del sistema óptico cumplan con estos exigentes requisitos de rendimiento. La desviación en los dos ejes perpendiculares al eje de movimiento, la redondez de los agujeros perforados y la dinámica durante y al final del movimiento son especialmente críticos. Se requiere una fricción baja y constante y un rendimiento óptimo de movimiento y asentamiento. El diseño y la fabricación de conjuntos de mecatrónica que logran de manera confiable este nivel de rendimiento requiere un socio confiable de movimiento de precisión con experiencia avanzada en mecatrónica, componentes de motor y codificador de alto rendimiento, procesos complejos de microfabricación y conocimiento experto de sistemas de rodamientos, materiales especiales y procesos de fabricación.
La solución
Utilizando un motor de bobina de voz Juke y un codificador Mercury como componentes centrales para proporcionar el rendimiento requerido, el equipo de mecatrónica de Celera Motion diseñó un mecanismo de etapa lineal de precisión, capaz de ajuste de desviación en las direcciones Y y Z. Se utilizaron materiales especiales y procesos de microfabricación para cumplir con las exigentes especificaciones ambientales y de desempeño del cliente. El equipo de Celera Motion implementó métodos de prueba y calibración eficientes y escalables que incluyen instrumentos de máquina de medición coordinada (CMM), láseres confocales, celdas de carga, cámaras digitales y un controlador de movimiento de un solo eje, todo controlado por el programa de software interno de Celera Motion. Los procesos de diseño y fabricación se introdujeron con éxito y se ampliaron rápidamente a la producción en serie para cumplir con el exigente cronograma de entrega del cliente.
El beneficio
El diseño de la etapa de precisión, cuando se usa en combinación con el software de calibración y prueba personalizado, es capaz de lograr capacidades de desviación ultrafinas a los pocos minutos del ensamblaje final. La capacidad de diseñar una diapositiva de precisión, que también es ajustable y puede moverse y asentarse en decenas de milisegundos, requiere un diseño y hardware de última generación. Los codificadores Celera Motion ofrecen márgenes de alineación óptica y resolución de nivel nanométrico líderes en la industria. La línea de motores de Celera Motion se especializa en relaciones de alto rendimiento para factor de forma, lo que las hace ideales para trabajos especializados donde el espacio mínimo y los requisitos de rendimiento máximo son muy importantes.
Especificaciones
Codificador de la serie Mercury™
| Dimensiones del sensor | 20.6 x 12.7 x 8.4 mm |
| Interfaz digital | A quad B con índice |
| Resolución | 0.078 µm |
| Clase de precisión | + / - 0.1 µm |
| Periodo de rejilla | 20 µm |
| Peso del sensor | 1.6 g |
Motor de la serie Juke™
| Fuerza | 5 to 46 N |
| Carrera | 2 to 40 mm |
| Poder continuo | 3 to 18 Watts |
| Diámetro exterior | 19 to 32 mm |
| Longitud | 25 to 38 mm |
