ウェーハの検査

課題

これまでの半導体製造プロセスの歩留まりを継続的に改善し、ますます複雑化するプロセスや設計の市場投入時間を短縮する必要があるため、ウェーハやプロセスツールを最先端の設備や計測システムで監視する必要があります。検査中にウェーハを移動させるのに、一般的には精密回転ステージを使用します。ステージ全体の高さが低いため、ウェーハ検査プロセスのスループットと有効性を最大限に活かすために、検出および検査装置用として大きな開口が必要になります。市販されている多くの回転ステージは、必要なレベルの精度とリピータビリティーを達成してはいるのですが用途の要件のすべてを満たしてはいません。

ソリューション

Celera MotionOmniシリーズのダイレクトドライブモーターは、軸方向の高さが8mm、開口は400mm強で、ダイレクトドライブモーターから期待される滑らかで正確なモーションを備えたクラス最高のフォームファクターを提供することができます。Omniシリーズのモーターで設計されたロータリーステージは、非常に低いプロファイルを実現し、検知、走査、検査装置に大口径を提供します。

メリット

Celera MotionのOmniシリーズモーターは、数多くのロープロファイルロータリーステージが使用され、ウェーハ検査システムが、目的とする歩留まりとスループットを達成できるようにしました。Celera Motionはまた、長年の経験を持つ専門のエンジニアによって設計された、完全組み立て済み、テスト済みのロータリーステージおよびメカトロニクスパッケージもご提供します。このプロジェクトでは、セレラのエンジニアがお客様と緊密に連携して高度に最適化されたソリューションを設計しています。セレラの最終製品として、モーターコンポーネント、エンコーダーコンポーネント、または完全に組み立てられてテストされたロータリーステージが連続生産されています。

仕様