Wafer Muayenesi

Zorluk

Mevcut yarı iletken üretim süreçlerinin getirisini sürekli olarak artırma ve yeni ve giderek karmaşıklaşan süreçleri ve tasarımları pazara sürme süresini kısaltma ihtiyacı, wafer’ların ve süreç araçlarının en ileri teknoloji ekipmanlar ve ölçüm sistemleriyle takip edilmesini gerektirir. Genelde muayene edilmeleri esnasında wafer’ları hareket ettirmek için hassas döner tablalar kullanılır. Wafer muayene sürecinin verimini ve etkisini maksimize etmek için düşük toplam tabla yüksekliği ve algılama ve muayene ekipmanları için geniş bir apertür gereklidir. Piyasadaki çoğu döner tabla, gereken doğruluk ve tekrarlanabilirlik seviyelerini sağlarken, aynı zamanda tüm uygulama gerekliliklerini karşılamamaktadır.

Çözüm

8 mm kadar düşük eksen yüksekliğine ve 400 mm’nin üzerinde apertürlere sahip Celera Motion Omni Serisi doğrudan tahrikli motorlar, bir doğrudan tahrikli motordan beklenen sarsıntısız ve doğru hareketle birlikte, sınıfının en iyisi durumdaki biçim faktörünü sunmaktadır. Omni Serisi motorlarla tasarlanan döner tablalar son derece düşük profillere sahiptir ve algılama, tarama ve muayene ekipmanları için geniş bir apertür sağlar.

Avantaj

Celera Motion’ın Omni Serisi motorları pek çok düşük profilli döner tablada kullanılmış ve wafer muayene sistemlerinin istenen getiriyi ve verimi sağlamasına imkan vermiştir. Celera Motion ayrıca yılların deneyimine sahip uzman bir mühendislik kadrosu tarafından tasarlanan tam olarak monte edilmiş ve sınanmış döner tablalar da sağlamaktadır. Proje süresinde, Celera’nın mühendisleri son derece optimize bir çözüm sağlamak için müşteriyle yakın biçimde çalışır. Seri üretime geçildiğinde, Celera motor komponentleri, kodlayıcı komponentleri veya tam olarak monte edilmiş ve sınanmış döner bir tabla sağlayabilir.

Teknik Özellikler