La inspección de obleas es un negocio altamente preciso y sensible al tiempo. El mejor factor de forma de su clase y el movimiento suave y preciso del motor de la serie Omni ayudaron a un cliente a cumplir con los requisitos deseados de la herramienta de inspección de obleas, que finalmente terminó con un dispositivo capaz de una precisión y repetibilidad extremas.
El reto
La necesidad de mejorar continuamente el rendimiento de los procesos de fabricación de semiconductores existentes y reducir el tiempo de comercialización de procesos y diseños nuevos y cada vez más complejos requiere que las obleas y las herramientas de proceso se supervisen con equipos y sistemas de medición de última generación. Las etapas giratorias de precisión se usan comúnmente para mover las obleas durante su inspección. Se requiere una altura total baja de la etapa y una gran apertura para los equipos de detección e inspección para maximizar el rendimiento y la eficacia del proceso de inspección de obleas. Muchas etapas rotativas disponibles en el mercado no cumplen con todos los requisitos de la aplicación al tiempo que alcanzan los niveles necesarios de precisión y repetibilidad.
La solución
Los motores de accionamiento directo Celera Motion Omni Series con alturas axiales de hasta 8 mm y aberturas de más de 400 mm ofrecen el mejor factor de forma con el movimiento suave y preciso que se espera de un motor de accionamiento directo. Las etapas giratorias diseñadas con motores de la serie Omni pueden lograr perfiles extremadamente bajos y proporcionar una gran apertura para los equipos de detección, escaneo e inspección.
El beneficio
Los motores de la serie Omni de Celera Motion se han utilizado en numerosas etapas giratorias de bajo perfil y han permitido que los sistemas de inspección de obleas logren el rendimiento y el rendimiento deseados. Celera Motion también ofrece etapas rotativas completamente ensambladas y probadas y paquetes de mecatrónica diseñados por un personal de ingeniería experto con muchos años de experiencia. Durante el proyecto, los ingenieros de Celera trabajan en estrecha colaboración con el cliente para diseñar una solución altamente optimizada. Cuando está en producción en serie, el producto final de Celera puede ser componentes de motor, componentes de codificador o una etapa giratoria completamente ensamblada y probada.
Especificaciones
| Par continuo | Hasta 5,9 Nm |
| Torque pico | Hasta 17,7 Nm |
| Diámetro (Estator OD) | 45 a 165 mm |
| Agujero pasante (ID del rotor) | 32 a 120 mm |
| Velocidad máxima | Hasta 5,000 rpm |
