Un fabricant de technologies d’inspection et de métrologie cherchait à établir un avantage concurrentiel pour son application d’informations en temps réel. Celera Motion lui a permis de réaliser cette ambition grâce au kit moteur Agility™, qui permet de fournir un mouvement plus fluide et plus précis pour ses mesures.
Le défi à relever
Le contrôle des processus et la gestion des rendements revêtent une importance capitale pour la fabrication de circuits intégrés, de plaquettes, de réticules et de LED. Les fabricants d’équipements de contrôle et de métrologie peuvent obtenir des avantages concurrentiels en améliorant la capacité de leurs produits à réintroduire des données de haute qualité en temps réel dans le processus de fabrication, de manière à détecter et éliminer les défauts le plus en amont possible. Une rotation extrêmement fluide des plaquettes, des dispositifs et des réticules sur une platine à grande ouverture fournissant aux systèmes optiques et de balayage un chemin libre pour l’inspection et le balayage est essentielle.
La solution
Les kits moteurs de la série Agility de Celera Motion offrent un mouvement sans cogging à la pointe du secteur, avec des facteurs de forme présentant des trous passants de 265 mm et plus et des diamètres extérieurs allant de 19 mm à plus de 292 mm. Les moteurs sans encoche précis et fluides de la série Agility ont été intégrés dans de nombreuses platines rotatives pour répondre aux multiples défis des applications d’inspection et de métrologie des semi-conducteurs auxquels devaient répondre des équipementiers du monde entier.
Avantage
La technologie de moteur sans encoche ZeroCog™ de Celera Motion élimine le couple de cogging. Le mouvement fluide et précis qui en résulte permet de collecter des images et des données de numérisation de la plus haute qualité. Les grandes ouvertures disponibles dans la série Agility offrent aux systèmes d’inspection optique et de numérisation un accès à des zones substantielles de la surface d’inspection, ce qui permet à l’équipement, conjointement avec les temps d’établissement rapides rendus possibles par les platines à entraînement direct, de collecter rapidement une grande quantité de données.
Caractéristiques techniques
| Grande ouverture (DI rotor) | De 14,5 mm à plus de 265,7 mm |
| Coupe radiale du stator | Leader du secteur : <15 % du diamètre extérieur du stator |
| Diamètre (DE stator) | 19 mm à plus de 292 mm |
| Couple continu | 0,05 Nm à plus de 13,5 Nm |
| Couple maximal | 0,15 Nm à plus de 40,7 Nm |
| Ondulation du couple (« cogging ») | Aucune |
