Il basso consumo energetico degli encoder MicroE favorisce la stabilità termica nel vuoto, con sensori dalla struttura compatta che si adattano a spazi molto ristretti e funzionano con reticoli lineari o rotanti (righe). Le versioni per condizioni di vuoto sono dotate di sfiato e hanno un grado di vuoto nominale di 10-8 Torr.
La sfida
I microscopi elettronici a scansione (SEM) e i microscopi elettronici a trasmissione (TEM) necessitano di assi lineari e rotanti ad elevata precisione, in grado di operare sia all’interno che all’esterno di ambienti in condizioni di alto vuoto. In una situazione ideale, un unico tipo di encoder dovrebbe essere utilizzato in tutto il sistema per semplificare le attività di integrazione del produttore.
La soluzione
La tecnologia ottica brevettata PurePrecision degli encoder della serie MicroE Mercury ha consentito di produrre i sensori più compatti della loro categoria. Tali sensori sono progettati in modo da poter essere abbinati a reticoli ottici lineari o rotanti (righe). Vari encoder MicroE sono disponibili sia in versioni con atmosfera che in versioni per alto vuoto: Queste ultime sono dotate di sfiato, realizzate in materiali compatibili con il vuoto e progettate con grado di vuoto nominale di 10-8 Torr. In questo caso, i sensori M2000 e M2000V, con grado di vuoto nominale equivalente, sono stati scelti per le loro dimensioni ridotte, l’alta risoluzione e l’uscita di segnale digitale.
I vantaggi
La loro struttura compatta consente una significativa riduzione delle dimensioni e della massa di ciascun asse, mentre il ridotto consumo energetico del modello M2000V ne favorisce l’idoneità termica nel vuoto. Gli encoder della serie M2000/M2000V sono più piccoli, garantiscono prestazioni più elevate, installazioni più rapide, configurazioni e allineamenti più agevoli rispetto a quelli di qualsiasi altro encoder. Il piccolo sensore si adatta a spazi molto ristretti e funziona sia in applicazioni lineari che rotanti. Il sensore M2000V è dotato di sfiato, costruito con materiali compatibili con il vuoto e progettato per esposizioni di 48 ore a temperature di 150°C. I cavi in codice cromatico sono forniti scoperti per l’applicazione nel loro terminale di alimentazione con camera a vuoto nel sistema del cliente.
Specifiche
| Dimensioni del sensore | 20.6 x 12.7 x 8.4 mm |
| Interfaccia | A quad B digitale con indice |
| Periodo del reticolo | 20µm |
| Risoluzione del sistema | Da 5µm a 78nm |
| Velocità massima | 7.2 m/sec |
| Peso del sensore | 2.7g |
| Corsa richiesta | Vari sistemi lineari e rotanti |
| Dissipazione di potenza nella testina | Tipicamente 100 mW |
